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【2h】

Surface-micromachined Parylene dual valves for on-chip unpowered microflow regulation

机译：表面微加工parylene双阀，用于片上无动力微流量调节

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Po-jui Chen; Student Member; Damien C. Rodger; Ellis M. Meng; Mark S. Humayun; Yu-chong Tai;
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年度 2007
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